خط مشی دسترسیدرباره ما
ثبت نامثبت نام
راهنماراهنما
فارسی
ورودورود
صفحه اصلیصفحه اصلی
جستجوی مدارک
تمام متن
منابع دیجیتالی
رکورد قبلیرکورد بعدی
Document Type : Latin Dissertation
Language of Document : English
Record Number : 152849
Doc. No : ET24641
Main Entry : Anand Pandy
Title Proper : Experimental Investigation and Modeling of Anisotropic Etching of Silicon in Tetra-Methyl Ammonium HydroxidePOMPES PAR TRANSITIONS MULTIPLES
Note : This document is digital این مدرک بصورت الکترونیکی می باشد
Abstract : Anisotropic etching of silicon is a fundamental process in micro-systems technology(MST) and in the fabrication of micro-electromechanical systems (MEMS). This workaddresses the fundamental atomic mechanisms of anisotropic etching of single-crystal sil-.
Subject : Electericl tess
: برق
electronic file name : TL48850.pdf
Title and statement of responsibility and : Experimental Investigation and Modeling of Anisotropic Etching of Silicon in Tetra-Methyl Ammonium HydroxidePOMPES PAR TRANSITIONS MULTIPLES [Thesis]
 
 
 
(در صورت عدم وضوح تصویر اینجا را کلیک نمایید)