CAPTEURS THERMIQCTES MICRO-US& s : ANALYSE ET PROPOSITlON D'UNE NOUIELLE TECHNIQUE DE CONCEPIION ET DE FABRICATIONPOMPES PAR TRANSITIONS MULTIPLES

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Document Type	:	Latin Dissertation
Language of Document	:	English
Record Number	:	152394
Doc. No	:	ET24186
Main Entry	:	SGPHANE LECLERC
Title Proper	:	CAPTEURS THERMIQCTES MICRO-US s : ANALYSE ET PROPOSITlON D'UNE NOUIELLE TECHNIQUE DE CONCEPIION ET DE FABRICATIONPOMPES PAR TRANSITIONS MULTIPLES
Note	:	This document is digital این مدرک بصورت الکترونیکی می باشد
Abstract	:	This document proposes a novel structure and an associated microfabrication process for thedesign of integrated thermal micro electro-mechanical systems (MEMS): the buried cavitystructure. The structure has been named after the fact that a deep cavity, etched from thesurface, is hidden under a membrane and is not visible from the surface..
Subject	:	Electericl tess
	:	برق
electronic file name	:	TL48388.pdf
Title and statement of responsibility and	:	CAPTEURS THERMIQCTES MICRO-US s : ANALYSE ET PROPOSITlON D'UNE NOUIELLE TECHNIQUE DE CONCEPIION ET DE FABRICATIONPOMPES PAR TRANSITIONS MULTIPLES [Thesis]